한 중국 기업이 미국의 제재를 고려하여 국내 반도체 제조 능력을 향상시키기 위해 두 가지 새로운 심자외선(DUV) 리소그래피 기계를 개발했습니다. 이 기계들은 외국 기술에 대한 의존도를 줄이기 위해 설계되었지만, ASML과 니콘과 …

상하이 마이크로일렉트로닉스 장비(SMEE)가 극자외선(EUV) 리소그래피 기계에 대한 특허를 출원하며, 중국의 EUV 반도체 제조 능력 개발에 중요한 이정표가 되었습니다. 2023년 3월에 제출된 이 특허는 EUV 도구의 핵심 구성 요소, 특히 레이저로 …