러시아는 ASML의 장비보다 비용이 적고 복잡성이 낮은 EUV(극자외선) 리소그래피 기계를 개발하기 위한 로드맵을 발표했습니다. 새로운 기계는 ASML이 사용하는 13.5nm 표준보다 짧은 11.2nm 파장에서 작동하는 레이저를 활용할 예정입니다. 이러한 변화는 새로운 …