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로렌스 리버모어 국립 연구소(LLNL)는 빅 아퍼처 튤리움(BAT) 레이저로 알려진 페타와트급 튤리움 레이저를 개발하고 있으며, 이는 현재 극자외선(EUV) 리소그래피에 사용되는 CO2 레이저보다 10배 더 효율적일 것으로 기대됩니다. 이 발전은 반도체 칩을 …