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중국 과학원(CAS)의 연구자들이 일관된 193nm 빛을 방출하는 고체 상태의 심자외선(DUV) 레이저를 개발했습니다. 이 혁신은 반도체 포토리소그래피에 유용할 수 있으며, 고급 칩 제조를 위한 리소그래피 도구의 제작으로 이어질 수 있습니다. 그러나 …