인텔은 오리건에 위치한 D1 개발 팹에서 두 대의 ASML High-NA Twinscan EXE:5000 EUV 리소그래피 도구를 사용하여 30,000개의 웨이퍼를 성공적으로 가공했습니다. 이 이정표는 SPIE 고급 리소그래피 + 패터닝 컨퍼런스에서 발표되었으며, 인텔의 …