램 리서치(Lam Research)는 웨이퍼 제조 도구의 유지보수를 향상시키기 위해 설계된 협업 로봇 Dextro를 소개했습니다. Dextro는 팔과 교체 가능한 말단 장치를 갖춘 이동식 로봇 유닛으로, 세 가지 주요 유지보수 작업을 높은 정밀도로 수행할 수 있습니다. 이 로봇은 소모성 부품을 수동 방법보다 두 배 이상의 정확도로 설치하고, 진공 밀봉 볼트를 정확한 사양에 맞게 조이고, 분해 없이 챔버 벽에서 폴리머 축적물을 안전하게 제거할 수 있습니다.
Dextro의 도입은 반도체 산업에서 숙련된 엔지니어 부족과 제조 장비의 복잡성 증가라는 중요한 문제를 해결합니다. 반복적이고 복잡한 작업을 자동화함으로써 Dextro는 첫 시도 성공률(First-Time-Right, FTR) 결과를 개선하고 유지보수 오류를 줄이며, 궁극적으로 칩 제조업체에게 중요한 지표인 도구 가동 시간을 증가시키는 것을 목표로 합니다. 현재 Dextro는 램 리서치의 Flex G 및 H 시리즈 유전체 에칭 도구와 호환되며, 2025년까지 호환성을 확장할 계획입니다.
Dextro는 인간 기술자를 대체하는 것이 아니라 그들의 능력을 향상시켜 오류 없는 유지보수를 가능하게 하여 생산 변동성과 수율 개선을 이끌어냅니다. 이 로봇은 이미 전 세계 여러 첨단 반도체 공장에서 운영되고 있으며, 유지보수 활동과 관련된 폐기물, 소모품 및 가동 중지 비용을 크게 줄일 수 있는 잠재력을 보여주고 있습니다.
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