러시아 기업들이 2022년과 2023년 동안 ASML의 1990년대 반도체 제조 기계의 부품을 성공적으로 확보했습니다. 이는 유럽의 제재로 인해 러시아에 고급 기계 판매가 금지된 상황에서도 이루어진 일입니다. 이 부품들은 중국의 대리인을 통해 조달된 것으로 알려져 있으며, 최소 170건의 ASML의 PAS 5500 리소그래피 도구에 대한 부품이 주로 중국 공급업체로부터 러시아에 들어갔습니다.
ASML은 제재 준수를 확인하며, 최근 몇 년간 러시아 유통업체와의 거래가 없었다고 밝혔습니다. 1991년에 도입된 PAS 5500 시리즈 리소그래피 도구는 더 이상 ASML에서 제조되지 않지만, 회사는 리퍼비시 모델을 계속 판매하고 있으며 2035년까지 이들에 대한 지원을 계획하고 있어, 특히 중국으로부터의 부품 공급이 지속될 것으로 보입니다.
PAS 5500 기계는 400nm 해상도를 위한 365nm 파장의 i-라인 레이저나 90nm 해상도를 위한 193nm 파장의 ArF 레이저와 같은 다양한 레이저를 사용할 수 있습니다. 초기 모델은 350nm 공정 기술로 칩을 생산할 수 있었으나, 이후 모델은 130nm 및 90nm에서 고급 로직 칩을 생산할 수 있어, 러시아 반도체 제조업체인 앙스트렘과 미크론의 능력과 일치합니다.
PAS 5500 도구는 이중 용도 기술로 분류되지는 않지만, 여전히 군사 응용 분야에서 사용되는 비교적 고급 칩을 생산할 수 있습니다. 보도에 따르면, 이전에 구식 소련 시대의 칩에 의존하던 러시아 미사일들이 점점 더 많은 새로운 칩을 현지 제조업체에서 생산하고 있다고 합니다.
중국이 러시아의 반도체 산업을 계속 지원함에 따라, 미국은 이 거래에 관여한 중국 상인에 대한 제재를 강화했습니다. 그러나 전문가들은 유럽이 유사한 조치를 시행하는 데 있어 덜 적극적이라고 지적하며, 이는 러시아의 군사 능력을 제한하는 데 중요한 요소가 될 수 있습니다.
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