네덜란드 정부는 ASML이 중국에서 고급 웨이퍼 제조 장비를 서비스하는 능력을 제한할 계획이며, 이는 중국의 반도체 생산 능력에 상당한 타격을 줄 수 있습니다. 이 금지가 시행될 경우, 중국의 반도체 선두주자인 SMIC는 향후 1년 내에 7nm 및 5nm 공정 기술을 사용한 칩 제조가 불가능해질 수 있습니다.
네덜란드 당국은 ASML의 고급 DUV(Deep Ultraviolet) 리소그래피 기계와 관련된 특정 라이센스가 올해 말까지 만료되도록 허용할 계획이며, 이는 일부 장비를 작동 불능 상태로 만들 수 있습니다. 이 조치는 미국의 압력에 따른 것으로, 미국은 동맹국들이 중국의 반도체 발전을 저지하기 위한 미국 정책에 맞춰 수출 통제를 조정할 것을 촉구하고 있습니다.
미국은 외국 제품에 최소한의 미국 기술이 포함된 경우에도 수출을 통제할 수 있는 외국 직접 제품 규칙(Foreign Direct Product Rule, FDPR)과 같은 일방적인 조치를 취할 수 있다고 밝혔습니다. 이전에 네덜란드 정부는 ASML의 Twinscan NXT:2000i, 2050i, 2100i DUV 리소그래피 기계의 중국 수출을 제한한 바 있습니다. 이 기계들은 ≤38nm 해상도의 칩을 생산할 수 있으며, 다중 패터닝을 통해 7nm 및 5nm급 공정 기술에 활용될 수 있습니다.
미국과 동맹국들은 국가 안보 문제에 대한 우려로 인해 이러한 제한을 두고 있습니다. 영향을 받는 일부 도구는 이미 SMIC와 같은 기업이 운영하는 팹에 설치되어 있으며, SMIC는 Twinscan NXT:2000i 및 기타 고급 기계를 사용하여 블랙리스트에 오른 화웨이용 칩을 생산하고 있는 것으로 알려져 있습니다. 서비스와 새로운 예비 부품이 없으면 이러한 기계는 2025년까지 작동 불능 상태가 될 수 있으며, 이는 SMIC와 화웨이의 고급 반도체 생산 능력에 심각한 영향을 미칠 것입니다.
ASML에 미칠 잠재적 영향은 상당할 수 있으며, 2분기 매출의 거의 절반이 중국에서 발생했으며, 유지보수 서비스 비용이 높습니다. 그러나 중국의 대부분의 팹 도구는 후행 노드에서 칩을 제조하는 데 사용되며, 이는 미국과 동맹국들이 우선시하지 않기 때문에 ASML이 이러한 도구에 대한 서비스를 계속할 수 있습니다. 따라서 금지의 영향은 상당하겠지만, 범위는 다소 제한적일 수 있습니다.
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