화웨이와 연계된 스타트업 SiCarrier가 반도체 제조 장비 분야에서 중요한 플레이어로 떠오르며, Semicon China에서 포괄적인 도구 카탈로그를 선보였습니다. 4년 전 선전에서 설립된 SiCarrier는 ASML 및 Applied Materials와 같은 기존의 선두주자들과 경쟁하기 위해 웨이퍼 가공 도구의 전 범위를 개발하는 것을 목표로 하고 있습니다. 이 회사는 화웨이와 관련된 다양한 칩 벤처를 지원하는 선전 주요 투자 그룹의 지원을 받고 있습니다.
SiCarrier는 중국 전역에 여러 연구개발(R&D) 센터를 운영하며, 글로벌 주요 기업에서 인재를 적극적으로 채용하여 역량을 강화하고 있습니다. 카탈로그에는 반도체 제조 장비, 계측 도구 및 검사 시스템의 다양한 범위가 포함되어 있지만, 특히 리소그래피 도구가 부족하여 이 분야에서의 개발이 진행 중임을 나타낼 수 있습니다. 이 회사는 28nm 및 이전 공정 기술에서 300mm 웨이퍼를 처리할 수 있는 리소그래피 도구를 보유하고 있다고 주장합니다.
카탈로그에는 원자층 증착(Atomic Layer Deposition, ALD), 화학 기상 증착(Chemical Vapor Deposition, CVD), 물리적 기상 증착(Physical Vapor Deposition, PVD), 에피택시, 에칭 및 어닐링을 포함한 다양한 공정에 대한 도구가 포함되어 있습니다. 이러한 도구의 구체적인 기능은 자세히 설명되지 않았지만, '고급 공정 노드'에 대한 언급은 최첨단 기술에 대한 집중을 시사합니다. 또한 SiCarrier는 패턴이 있는 웨이퍼와 패턴이 없는 웨이퍼 모두에 대한 계측 및 검사 도구와 얇은 필름 분석을 위한 고급 측정 시스템을 제공합니다.
테스트 기능에는 웨이퍼 전기 성능, 정상 동작 다이 테스트 및 기능 테스트를 위한 기계가 포함되어 있으며, 주로 전력 반도체를 목표로 하고 있습니다. 그러나 SiCarrier의 도구가 기존 제조업체의 장비를 사용하는 생산 흐름과의 호환성은 불확실합니다. 화웨이와의 파트너십은 중국산 도구만을 사용하는 독자적인 생산 흐름 개발로 이어질 수 있으며, 이는 구현하는 데 수년이 걸릴 수 있습니다. 이러한 불확실성에도 불구하고 SiCarrier의 빠른 발전과 야심찬 목표는 반도체 산업에서 잠재적인 파괴자로 자리매김할 수 있는 위치에 놓이게 합니다.
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