주로 고급 변기와 위생 도기로 알려진 토토는 세라믹 생산에 대한 전문성을 활용하여 정전기 척(e-chucks)을 통해 반도체 제조 분야에서 중요한 플레이어로 자리잡았습니다. 이러한 부품은 1980년대부터 현대 반도체 제조 공정에서 필수적인 요소로 자리잡았으며, 올해 운영 이익이 1억 달러를 초과할 것으로 예상됩니다.
정전기 척은 전기적 힘을 이용해 실리콘 웨이퍼를 안전하게 고정하며, 전통적인 기계적 클램핑 및 진공 방식에 비해 여러 가지 장점을 제공합니다. 이들은 EUV 리소그래피, 플라즈마 에칭, 화학 기상 증착(CVD), 물리적 기상 증착(PVD) 등 다양한 칩 생산 공정에서 필수적입니다. DUV 리소그래피에서의 e-chucks 채택은 13.5nm 파장에서 고진공 환경에서 작동하는 EUV 리소그래피의 요구에 의해 촉발된 최근의 발전입니다.
e-chucks는 균일한 클램핑 힘을 제공하고, 스트레스를 줄이며, 왜곡을 최소화하고, 오버레이 및 중요 치수 제어를 향상시켜 고급 반도체 공정에서 선호됩니다. 그러나 신코 전기와 같은 경쟁이 심화되고 있습니다.
토토는 경쟁력을 유지하기 위해 일본 오이타에 118억 엔 규모의 세라믹 생산 시설을 포함한 대규모 투자를 진행했으며, 2020년 4월부터 2024년 4월까지 세라믹 생산 인력을 20% 증가시켰습니다. 이 회사는 세라믹 부문이 2024 회계연도에 200억 엔(1억 3천만 달러)의 운영 이익을 창출할 것으로 예상하며, 이익률은 거의 40%에 이를 것으로 보입니다.
앞으로 토토는 웨이퍼 가공을 넘어 절단 및 포장과 같은 하류 응용 분야로 초점을 확장하고 있으며, 3차원 칩 스태킹에 대한 수요가 새로운 기판 기술을 필요로 하고 있습니다. 토토의 사장인 노리아키 기요타는 반도체 분야의 지속적인 성장 잠재력을 강조하며, 시장 변동에도 불구하고 이 분야가 계속해서 기하급수적으로 확장할 것이라고 말했습니다.
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